leybold萊寶真空計TTR200NTHERMOVAC 變送器

TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

變送器擁有三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。

壓電傳感器基于對硅膜機械偏轉(zhuǎn)的測量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力，另一側(cè)暴露于真空。

壓電傳感器可測量無關于氣體成分和濃度的真實差壓。

這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

應用

差分壓電傳感器將始終相對于環(huán)境壓力進行精確的測量，不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:

- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)

- 相對于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。

變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業(yè)應用、研發(fā)、半導體、分析和涂料工業(yè)中:

? 真空鎖壓力控制

? 一般真空壓力測量

? 前級管道和粗抽壓力測量

? 氣體回填測量和控制

? 質(zhì)譜儀控制

? 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

? 系統(tǒng)過程控制

? 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當?shù)陌踩胧?/p>

? 控制系統(tǒng)壓力

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